垂直单向流洁净室,是气流自上而下均匀平行流动的高等级洁净室,气流流向统一、无紊流涡流,除尘控尘效果优异。

1.气流运行方式
顶部整体均匀送风,气流垂直向下匀速流动,从作业区穿过,最终由地面回风结构回流,形成闭环循环,空气中粉尘随气流直接带走,不会在室内回旋堆积。
2.常见硬件搭配
顶部密布 FFU 风机过滤单元,保障出风均匀;地面铺设高架地板作为回风通道,墙板密封严实,搭配风淋、传递窗隔离外界尘源。
3.适用洁净等级
多用于百级、十级等高标准洁净场景,常规乱流车间一般不采用此形式。
4.主要应用场景
芯片封装、半导体制程、精密光学加工、高端生物医药实验等,对悬浮颗粒物管控要求严苛的生产研发场景。
5.核心特点
洁净度稳定均匀,局部区域不易出现尘点;造价与能耗高于普通洁净室,空间层高要求更高,普遍适配高精度生产作业需求。