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噪声级(空态):非单向流洁净室不应大于 60dB (A),单向流、混合流洁净室不应大于 65dB (A)。当净化空调系统末端采用风机过滤器机组时,单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于 70dB (A),非单向流洁净室的空态噪声级不应大于 65dB (A)。
噪声频谱限制:应采用倍频程声压级,各频带声压值不宜大于相关规定。
其他要求:洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求,围护结构应有良好的隔声性能,并宜使其各部分隔声量相接近;洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品,对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,宜设置专用隔声或消声设施;净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施,除事故排风外,洁净室内的排风系统应进行减噪设计;根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速宜符合总风管风速为 6m/s-10m/s、无送回风口的支风管风速为 4m/s-6m/s、有送回风口的支风管风速为 2m/s-5m/s 的规定。