半导体行业的洁净室，从来都是 “微米级精度” 的较量 —— 无锡唯睿要在现有万级无尘室内，塞进一个 15㎡的百级洁净区，这事听起来简单，实则藏着三个棘手难题：
“百级对微粒的控制是万级的 1/100，施工时怎么保证不污染原有万级环境？”
“15㎡空间要放下晶圆检测设备，布局差 10 公分都可能影响气流，怎么做到精准？”
“车间不能停工，施工动静大了会影响生产，进度怎么保？”
半导体行业的洁净需求，从来不是
“建个干净房间” 那么简单。百级洁净室（ISO 5 级）每立方米≥0.5μm 的微粒不能超过 3520 个，而它 “藏” 在万级（ISO 7
级）车间里，相当于 “在洁净区里再建一个更洁净的核心区”，施工时的每一步都得像 “外科手术” 一样谨慎。
我们的方案从三个维度破局：
- 气流 “无缝衔接”：算出百级区与万级车间的气压梯度（百级区正压比万级高 5Pa），确保百级的洁净空气 “只往外推”，不让万级区的微粒 “倒灌”。同时，百级区内部采用层流送风，气流从顶部垂直向下，像 “无形的罩子” 把检测设备裹住，避免死角积尘。
- 布局 “毫米级抠图”：15㎡里要摆下检测台、传递窗、FFU 风机单元，我们拿着激光测距仪在万级车间测了
3 次，把设备间距精确到 ±5mm——
既保证操作人员转身不碰设备，又留足气流循环空间。无锡唯睿的工程师看完图纸说：“你们连设备电源线的走向都考虑到了，这才是懂半导体的细节。”
- 施工 “零干扰模式”：所有组件（墙板、龙骨、过滤器）在工厂预制，运到现场时用双层洁净袋密封。施工团队穿洁净服进场，进行拼接，全程不产生扬尘（粉尘浓度控制在
0.3mg/m³ 以下）。3 天施工期，隔壁万级车间的生产丝毫没受影响，车间主任巡查时说：“要不是看到多了个玻璃隔断，真没发现你们在施工。”
百级洁净室的验收，数据说了算。第三方检测时，15㎡空间内：
- ≥0.5μm 微粒数：平均 2100 个 /m³（远低于百级标准的 3520 个）；
- 浮游菌：0cfu/m³；
- 温湿度波动：±0.5℃、±2% RH（半导体检测对温湿度敏感，这个精度能保证数据稳定）。
无锡唯睿的项目负责人说：“最意外的是模块化洁净室的灵活性 —— 以后设备升级要扩 1㎡，直接加一块墙板就行，不用像传统洁净室那样拆了重砌。”
现在，这个 15㎡的百级洁净室成了无锡唯睿的 “核心检测站”，既满足了半导体晶圆的高精度检测需求，又没耽误原有万级车间的生产。其实，半导体行业的洁净方案，拼的从来不是 “谁的面积大”，而是 “谁能在严苛限制里，把每个细节做到极致”。
如果你也在半导体、精密电子等行业，面临 “小空间高洁净度”“不停产施工”“与现有洁净区兼容” 等难题，不妨聊聊你的具体场景 —— 模块化洁净室是或许能给你一个 “又快又稳” 的答案。
